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标准详细信息 |
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标准状态 | 现行 |
标准编号 | T/IAWBS 017—2022 |
中文标题 | 金刚石单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法 |
英文标题 | Test method for full width at half maximum of double crystal X-rayrocking curve of diamond single crystal substrate |
国际标准分类号 | 29.045 |
中国标准分类号 | |
国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 |
发布日期 | 2022年12月15日 |
实施日期 | 2022年12月22日 |
起草人 | 冯梦阳、金鹏、郑红军、霍晓迪、屈鹏霏、闫方亮、李红东 |
起草单位 | 中国科学院半导体研究所、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、 北京三平泰克科技有限责任公司、北京聚睿众邦科技有限公司、吉林大学 |
范围 | 本文件规定了利用双晶X 射线衍射仪测试金刚石单晶片摇摆曲线半高宽的方法。
本文件适用于高温高压法、化学气相沉积法和其它方法生长制备的金刚石单晶片,对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样也适用于此方法。 |
主要技术内容 | 本标准根据金刚石单晶片的材料性能特点,并结合目前国内金刚石晶体质量检测技术的研究水平,对金刚石单晶片X射线双晶摇摆曲线的测试原理、测量精度保障、测量步骤等内容做出了规定。 本标准主题章共分为11章,主要内容包括:范围、规范性引用文件、术语和定义、测试原理、测试仪器与校准、测试样品、干扰因素、测试环境、测试程序、精密度、测试报告和附录。 |
是否包含专利信息 | 否 |
标准文本 | 不公开 |
团体详细信息 |
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团体名称 | 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟 |
登记证号 | 51110000MJ0117961F | 发证机关 | 北京市民政局 |
业务范围 | 产业技术研发、科技成果转化、信息平台与专业数据库建设、自主品牌推广、专业咨询培训与会展、承接政府委托、国际交流与合作。 |
法定代表人/负责人 | 刘祎晨 |
依托单位名称 | 无 |
通讯地址 | 北京市大兴区天荣街9号世农大厦3层 | 邮编 : 102600 |
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