T/IAWBS 017—2022 金刚石单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/IAWBS 017—2022
中文标题  金刚石单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
英文标题  Test method for full width at half maximum of double crystal X-rayrocking curve of diamond single crystal substrate
国际标准分类号  29.045
中国标准分类号  
国民经济分类  C398 电子元件及电子专用材料制造
发布日期  2022年12月15日
实施日期  2022年12月22日
起草人  冯梦阳、金鹏、郑红军、霍晓迪、屈鹏霏、闫方亮、李红东
起草单位  中国科学院半导体研究所、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、 北京三平泰克科技有限责任公司、北京聚睿众邦科技有限公司、吉林大学
范围  本文件规定了利用双晶X 射线衍射仪测试金刚石单晶片摇摆曲线半高宽的方法。 本文件适用于高温高压法、化学气相沉积法和其它方法生长制备的金刚石单晶片,对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样也适用于此方法。
主要技术内容  本标准根据金刚石单晶片的材料性能特点,并结合目前国内金刚石晶体质量检测技术的研究水平,对金刚石单晶片X射线双晶摇摆曲线的测试原理、测量精度保障、测量步骤等内容做出了规定。
本标准主题章共分为11章,主要内容包括:范围、规范性引用文件、术语和定义、测试原理、测试仪器与校准、测试样品、干扰因素、测试环境、测试程序、精密度、测试报告和附录。
是否包含专利信息  
标准文本  不公开
团体详细信息
团体名称中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
登记证号51110000MJ0117961F发证机关北京市民政局
业务范围产业技术研发、科技成果转化、信息平台与专业数据库建设、自主品牌推广、专业咨询培训与会展、承接政府委托、国际交流与合作。
法定代表人/负责人刘祎晨
依托单位名称
通讯地址北京市大兴区天荣街9号世农大厦3层邮编 : 102600

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