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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/IAWBS 018—2022 |
| 中文标题 | 金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法 |
| 英文标题 | Test method for dislocation density of diamond single crystal polished wafers |
| 国际标准分类号 | 29.045 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 |
| 发布日期 | 2022年12月15日 |
| 实施日期 | 2022年12月22日 |
| 起草人 | 霍晓迪、金鹏、郑红军、冯梦阳、许敦洲、李红东 |
| 起草单位 | 中国科学院半导体研究所、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、 北京三平泰克科技有限责任公司、吉林大学 |
| 范围 | 本文件规定了金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法。
本文件适用于金刚石单晶抛光片位错密度的测试。 |
| 主要技术内容 | 本标准根据金刚石单晶的材料性能特点，并结合目前国内外其他单晶如蓝宝石位错密度的检测技术的研究水平，对金刚石单晶抛光片位错密度的测试原理、测量精度保障、测量步骤等内容做出了规定。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟 |
| 登记证号 | 51110000MJ0117961F | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 产业技术研发、科技成果转化、信息平台与专业数据库建设、自主品牌推广、专业咨询培训与会展、承接政府委托、国际交流与合作。 |
| 法定代表人/负责人 | 刘祎晨 |
| 依托单位名称 | 无 |
| 通讯地址 | 北京市大兴区天荣街9号世农大厦3层 | 邮编 : 102600 |
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