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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ICMTIA ESG0013—2022 |
| 中文标题 | 集成电路用混合气体 3.5%氩/10ppm氙/氖 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 01.020 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | A011 谷物种植 |
| 发布日期 | 2022年04月08日 |
| 实施日期 | 2022年05月01日 |
| 起草人 | 郑秋艳、殷越玲、闫云、袁瑞玲、王蒙蒙、苏子杰、滕莹、李帅楠 |
| 起草单位 | 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究所 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了集成电路用3.5%氩/10ppm氙/氖混合气的技术要求、试验方法以及标志、包装、运输及储存的要求。
本文件适用于集成电路用3.5%氩/10ppm氙/氖混合气, 其它组分比例的氩氙氖混合气可以参考执行。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 登记证号 | 51110000MJ0121530Y | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展集成电路材料领域的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、支持成果转化、承办委托、国际交流。 |
| 法定代表人/负责人 | 石瑛 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区知春路27号量子芯座大厦15层1712 | 邮编 : 100191 |
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