T/ICMTIA ESG0018—2022 集成电路用气体 乙烯-团体标准
目录
| 标准详细信息 | |
|---|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ICMTIA ESG0018—2022 |
| 中文标题 | 集成电路用气体 乙烯 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 01.020 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | A011 谷物种植 |
| 发布日期 | 2022年05月10日 |
| 实施日期 | 2022年05月31日 |
| 起草人 | 傅铸红、叶相平、陈艳珊、曾熙，张晓明，徐孝天、傅玉榕 、龚施健 、陈金彬、于胜 |
| 起草单位 | 广东华特气体股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、福建博纯材料有限公司、江西华特电子化学品有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了集成电路用乙烯的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。 本文件适用于由工业用乙烯提纯得到的集成电路用乙烯。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中关村集成电路材料产业技术创新联盟 | ||
| 登记证号 | 51110000MJ0121530Y | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展集成电路材料领域的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、支持成果转化、承办委托、国际交流。 | ||
| 法定代表人/负责人 | 石瑛 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 北京市海淀区知春路27号量子芯座大厦15层1712 | 邮编 : 100191 | |