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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ICMTIA ESG0021—2022 |
| 中文标题 | 高纯气体产品采样通则 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 01.020 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | A011 谷物种植 |
| 发布日期 | 2022年05月10日 |
| 实施日期 | 2022年05月31日 |
| 起草人 | 李东升、周庆美、蒋玉琳，王春英、周晓咪，王磊、李俊杰，孙建，施旖旎、张蓉，傅铸红、陈艳珊，张长金、纪振红，张广第、张雪刚，朱智敏、赵晓亚。 |
| 起草单位 | 上海正帆科技股份有限公司、唐山三孚硅业股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、广东华特气体股份有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、中巨芯科技股份有限公司。 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了与高纯气体分析相关的采样基本原则，采样方案，采样类型，采样系统设计与安全。
本文件适用于压力容器或在线管道中的压缩或液化高纯气体，以及部分高纯混合气体的采样。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 登记证号 | 51110000MJ0121530Y | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展集成电路材料领域的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、支持成果转化、承办委托、国际交流。 |
| 法定代表人/负责人 | 石瑛 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区知春路27号量子芯座大厦15层1712 | 邮编 : 100191 |
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