T/ICMTIA ESG0022—2022 电子工业混合气体的制备 称量法-团体标准
目录
标准详细信息 | |
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标准状态 | 现行 |
标准编号 | T/ICMTIA ESG0022—2022 |
中文标题 | 电子工业混合气体的制备 称量法 |
英文标题 | |
国际标准分类号 | 01.020 |
中国标准分类号 | |
国民经济分类 | A011 谷物种植 |
发布日期 | 2022年05月10日 |
实施日期 | 2022年05月31日 |
起草人 | 李福芬、依俊廷、王昭彬,龚施健、王雷,施旖旎、李庆东,柳彤、张净普 |
起草单位 | 大连大特气体有限公司、博纯材料股份有限公司、大连保税区科利德化工科技开 发有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 |
范围 | |
主要技术内容 | 本文件规定了用称量法制备瓶装电子工业混合气体的方法.描述了制备原理、规定了制备的策划、 制备和检验过程。 本文件适用于瓶装电子工业混合气体的单瓶制备和批量制备。 |
是否包含专利信息 | 否 |
标准文本 | 不公开 |
团体详细信息 | |||
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团体名称 | 中关村集成电路材料产业技术创新联盟 | ||
登记证号 | 51110000MJ0121530Y | 发证机关 | 北京市民政局 |
业务范围 | 开展集成电路材料领域的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、支持成果转化、承办委托、国际交流。 | ||
法定代表人/负责人 | 石瑛 | ||
依托单位名称 | |||
通讯地址 | 北京市海淀区知春路27号量子芯座大厦15层1712 | 邮编 : 100191 |