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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ICMTIA ESG0025—2022 |
| 中文标题 | 集成电路用气体 氯气 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 01.020 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | A011 谷物种植 |
| 发布日期 | 2022年05月10日 |
| 实施日期 | 2022年05月31日 |
| 起草人 | 陈刚、张学良、贺辉龙、张广第、徐聪、宁海水、张雪刚、陈林、朱智敏、赵晓亚、王宁、陈晓平、柳彤、郑秋艳、黄晶、王立、代大全、傅俊、夏琳。 |
| 起草单位 | 中巨芯科技股份有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、TCL华星光电技术有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了集成电路用氯气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存以及安全。
本文件适用于集成电路制造过程中使用的氯气。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 登记证号 | 51110000MJ0121530Y | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展集成电路材料领域的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、支持成果转化、承办委托、国际交流。 |
| 法定代表人/负责人 | 石瑛 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区知春路27号量子芯座大厦15层1712 | 邮编 : 100191 |
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