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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ICMTIA SM0028—2022 |
| 中文标题 | 集成电路用电子级多晶硅 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 01.020 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | A011 谷物种植 |
| 发布日期 | 2022年05月10日 |
| 实施日期 | 2022年05月31日 |
| 起草人 | 田新、赵培芝、万首正，曹孜、赵而敬，冯天、陈强，兰洵，赵玉风、由佰玲 |
| 起草单位 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司、有研半导体硅材料股份公司、上海新昇半导体科技有限公司、西安奕斯伟硅片技术有限公司、中环领先半导体材料有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了集成电路用电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的集成电路用电子级多晶硅（以下简称“多晶硅”）。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 登记证号 | 51110000MJ0121530Y | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展集成电路材料领域的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、支持成果转化、承办委托、国际交流。 |
| 法定代表人/负责人 | 石瑛 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区知春路27号量子芯座大厦15层1712 | 邮编 : 100191 |
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