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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/JSQA 127—2022 |
| 中文标题 | 光刻机用超高压短弧曝光光源 |
| 英文标题 | Ultrahigh pressure short arc stepper exposure lighting source |
| 国际标准分类号 | 29.140.30 荧光灯、放电灯 |
| 中国标准分类号 | K 71 |
| 国民经济分类 | C387 照明器具制造 |
| 发布日期 | 2022年03月03日 |
| 实施日期 | 2022年03月03日 |
| 起草人 | 徐琴玉、殷尧平、李臻、陈海东、吴永强、杨宇华、李鑫、王燕 |
| 起草单位 | 常州玉宇电光器件有限公司、常州检验检测标准认证研究院、深圳市合丰嘉大科技有限公司、杭州汉光照明有限公司 |
| 范围 | 本文件规定了光刻机用超高压短弧曝光光源的术语和定义、分类和型号命名、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于光刻机用超高压短弧曝光光源，其他相应类型的超高压短弧曝光光源也可参照执行。 |
| 主要技术内容 | 分类和型号命名:分类、曝光灯的型号命名；
技术要求：外形及主要尺寸、光电参数及平均寿命、外观质量、灯头牢固度、同轴度、启动性能、振动性能、碰撞冲击性能、跌落冲击性能。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 江苏省质量协会 |
| 登记证号 | 513200005091814493 | 发证机关 | 江苏省民政厅 |
| 业务范围 | 学术交流、技术培训、咨询与服务、信息交流、协调与合作、出版刊物、接受政府委托等 |
| 法定代表人/负责人 | 张前 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 南京市秦淮区石鼓路227号9楼 | 邮编 : 210027 |
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