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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/QGCML 396—2022 |
| 中文标题 | 线切割后清洗机 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 23.100.01 流体动力系统综合 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C349 其他通用设备制造业 |
| 发布日期 | 2022年10月10日 |
| 实施日期 | 2022年10月25日 |
| 起草人 | 吴昆、许程超、贾泓超、沈飞、黄杰、陈凯、孙文兵、朱振涛、张春雷。 |
| 起草单位 | 浙江艾科半导体设备有限公司、天通吉成机器技术有限公司、上海超硅半导体股份有限公司、上海至纯洁净系统科技股份有限公司、竹菱（上海）电子贸易有限公司、科倍氟科技（上海）有限公司、湖州东科电子石英股份有限公司、基恩士（中国）有限公司、三菱电机自动化（中国）有限公司。 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了线切割后清洗机的术语和定义、材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输及贮存。
本文件适用于硅片线切割后清洗机（以下简称清洗机）的生产和检验。 |
| 是否包含专利信息 | 是 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 全国城市工业品贸易中心联合会 |
| 登记证号 | 51100000500004382K | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业管理、信息交流、书刊编辑、专业展览、国际合作、业务培训、咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 陈煜 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京海淀区万寿路甲12号万寿宾馆C座6519 | 邮编 : 100036 |
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