T/SHDSGY 160—2022 非接触式硅片传输装置技术规范-团体标准
目录
| 标准详细信息 | |
|---|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/SHDSGY 160—2022 |
| 中文标题 | 非接触式硅片传输装置技术规范 |
| 英文标题 | Technical specification for non-contact silicon wafert ransmission devices |
| 国际标准分类号 | 29.045 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 |
| 发布日期 | 2022年11月30日 |
| 实施日期 | 2022年11月30日 |
| 起草人 | 尉世卓、陈刚、龙万容 |
| 起草单位 | 上海睿范自动化设备有限公司、熙卓电子科技（上海）有限公司、北京易讯恒通科技有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了非接触式硅片传输装置的术语和定义、技术要求、方案、图纸、性能参数、使用说明书、检验要求、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于非接触式硅片传输装置技术规范。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 上海都市型工业协会 | ||
| 登记证号 | 51310000501778056Q | 发证机关 | 上海市民政局 |
| 业务范围 | 行业调研、技术培训、编辑出版、会展招商、产品推介、四技服务、中介咨询、对外合作交流及政府委托的各项工作（涉及行政许可的，凭许可证开展业务） | ||
| 法定代表人/负责人 | 蒋敖龙 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 上海市青浦区双联路88号A座3A02室 | 邮编 : 201702 | |