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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ZGM 003—2022 |
| 中文标题 | 质量分级及“领跑者”评价要求 半导体行业终端过滤用膜元件 |
| 英文标题 | Assessment requirements for quality grading and forerunner - Membrane elements for terminal filtration in the semiconductor industry |
| 国际标准分类号 | 21-010 |
| 中国标准分类号 | J77 |
| 国民经济分类 | C359 环保、社会公共服务及其他专用设备制造 |
| 发布日期 | 2022年09月07日 |
| 实施日期 | 2022年09月13日 |
| 起草人 | 贾建东、殷梓卿、黄人瑶、沈亦天、彭美华、孟慧琳、管金鑫、白岩。 |
| 起草单位 | 杭州科百特过滤器材有限公司、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、奥赛科膜科技（天津）有限公司、中国标准化研究院。 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 适用于半导体清洗、涂胶显影和刻蚀工序。要求微孔滤膜的厚度，通量，泡点，金属溶出和NVR溶出符合工艺要求。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
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| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国膜工业协会 |
| 登记证号 | 50001821-5 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业管理 信息交流 技术培训 专业展览 国际交流 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 陆晓宝 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市朝阳区北三环东路19号 | 邮编 : 100029 |
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