T/ZS 0344—2022 数字化无掩模激光直写光刻机-团体标准
目录
| 标准详细信息 | |
|---|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ZS 0344—2022 |
| 中文标题 | 数字化无掩模激光直写光刻机 |
| 英文标题 | Digital maskless laser direct imaging lithography machine |
| 国际标准分类号 | 31.260 |
| 中国标准分类号 | N 38 |
| 国民经济分类 | C397 电子器件制造 |
| 发布日期 | 2022年11月10日 |
| 实施日期 | 2022年11月17日 |
| 起草人 | 陈超、敦士军、王鹏、尚小兵、唐战备、廖平强、零萍、王珺、朱培武、乔家亿、周绍平、简红、许贝贝、周国尊、康永印、陈锡媛、沈肖蓉 |
| 起草单位 | 杭州新诺微电子有限公司、中山新诺微电子有限公司、安吉泰熙自动化有限公司、杭州欣俊哲科技有限公司、中山新诺科技股份有限公司、中国计量大学、浙江大学、普赛微科技(杭州)有限公司、纳晶科技股份有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 前言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 产品分类 5 工作环境 6 要求 6.1 外观、尺寸和重量 6.2 主要性能 6.3 安全要求 6.4 噪声 7 试验方法 7.1 试验条件 7.2 外观检查及尺寸、重量测量 7.3 性能试验 7.4 安全检查 7.5 噪声试验 8 检验规则 8.1 检验分类 8.2 出厂检验 8.3 型式检验 8.4 判定规则 9 标志、包装、运输、贮存 9.1 标志 9.2 包装 9.3 运输 9.4 贮存 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 浙江省产品与工程标准化协会 | ||
| 登记证号 | 91330109341938259G | 发证机关 | 浙江省民政厅 |
| 业务范围 | 研究与服务，标准制订及发布，咨询服务，标准化交流、培训、指导、监督、评价。 | ||
| 法定代表人/负责人 | 邓铭庭 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 杭州市萧山区北干街道金城路288号金地德圣中心9幢1402室 | 邮编 : 311201 | |