T/ZSM 0004—2022 工业用三氯化硼-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/ZSM 0004—2022
中文标题  工业用三氯化硼
英文标题  Boron trichloride used for industry
国际标准分类号  71.100.20 工业气体
中国标准分类号  G 86
国民经济分类  C261 基础化学原料制造
发布日期  2022年05月16日
实施日期  2022年06月01日
起草人  丁高松、赵晓兰、柯麟、张杰、卢勇华、周俊伟、袁恒
起草单位  浙江英德赛半导体材料股份有限公司,杭州简臻标准技术有限公司
范围  本文件规定了工业用三氯化硼的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全 信息的要求;适用于以碳化硼为主要原料,经高温氯化工艺制备而得的工业用三氯化硼。
主要技术内容  “技术要求”章规定了三氯化硼纯度、氯气含量、四氯化硅含量、碳酰氯含量、氯化氢含量的技术要求。
“试验方法”章结合工业用三氯化硼的检测实际,规定了三氯化硼的计算公式、以及氯气、四氯化硅、碳酰氯、氯化氢的测定方法。
“检验规则”章规定了工业用三氯化硼产品的检验项目、组批、采样、检验判定以及尾气处理的要求。
“标志、包装、运输、贮存” 章规定了标志、包装、运输、贮存的内容。
“安全信息”对安全信息等方面的内容进行了规定,并参考GB/T 17874《电子特气 三氯化硼》的安全要求。
是否包含专利信息  
标准文本  不公开

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团体详细信息
团体名称浙江省计量与标准化学会
登记证号51330000501867614C发证机关浙江省民政厅
业务范围参加学术交流活动,组织开展相关课题、技术研究,提供咨询服务,组织制定、发布团体标准,承担或参与计量和标准化项目论证等工作,编辑出版发行书刊。
法定代表人/负责人魏志昂
依托单位名称省本级
通讯地址杭州西湖区玉古路173号中田大厦302邮编 : 310007

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