收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/IAWBS 019—2023 中文标题 半导体设备前端模块 英文标题 Equipment front end module 国际标准分类号 31-550 中国标准分类号 CCS L 95 国民经济分类 C356 电子和电工机械专用设备制造 发布日期 2023年11月13日 实施日期 2023年11月20日 起草人 刘冬梅、王强、安国栋、李彤、鲁翠、王勇、赵海洋、李剑锋、刘福生、周磊 起草单位 北京锐洁机器人科技有限公司、天津锐洁芯导机器人有限公司、北京北方华创微电子装备有限 …