收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/CASME 929—2023 中文标题 半导体设备精密结构组件 英文标题 Technical requirements for precision structural components of semiconductor equipment 国际标准分类号 31.240 中国标准分类号 K 05 国民经济分类 C397 电子器件制造 发布日期 2023年11月17日 实施日期 2023年11月25日 起草人 张新联、林毅、李萍、杨会清、贾永涛、马长江、李明伟、邹灵浩、蔡 …