收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/CHBAS 34—2023 中文标题 集成电路用混合气体 10%氨/氦 英文标题 国际标准分类号 99 (没有标题) 中国标准分类号 国民经济分类 C419 其他未列明制造业 发布日期 2023年07月27日 实施日期 2023年07月27日 起草人 殷越玲、 柳彤、张净普、安园园、马茜茜、崔雯、赵赛迪、张洁 起草单位 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所 范围 主要技术内容 本文件规定了集成电路用混合气体10%氨/氦的技术要求、试验方 …