收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/CZSBDTHYXH 001—2023 中文标题 半导体晶圆缺陷自动光学检测设备 英文标题 Wafer defects Automatic optical inspection equipment 国际标准分类号 29.045 中国标准分类号 国民经济分类 C356 电子和电工机械专用设备制造 发布日期 2023年08月08日 实施日期 2023年08月09日 起草人 刘建明、刘庄、张彦鹏、周佼、王宏才、郭魂、张鸣杰 起草单位 江苏维普光电科技有限公司、常州市半导体行业协 …