收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/SHMHZQ 021—2023 中文标题 半导体真空阀门技术要求规范 英文标题 国际标准分类号 23.060.01 阀门综合 中国标准分类号 国民经济分类 C356 电子和电工机械专用设备制造 发布日期 2023年09月22日 实施日期 2023年10月07日 起草人 时楚楚、翁丽华、朱杰、冯天杨、陈卫 起草单位 帕茨特半导体设备(上海）有限公司、上海诗蔷科技有限公司、中科庆华(上海）科技有限公司、海塔狄思文化有限公司、上海鑫辉劳务派遣有限公司。 范围 本标准规定了半导体真 …