收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/ZJATA 0017—2023 中文标题 制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备 英文标题 国际标准分类号 31.220.01 机电元件综合 中国标准分类号 国民经济分类 C356 电子和电工机械专用设备制造 发布日期 2023年06月20日 实施日期 2023年07月20日 起草人 曹建伟、朱亮、傅林坚、张俊、周建灿、刘毅、沈文杰、金玲飞、刘丹丹、余婷、楼科利、朱盛霞。 起草单位 浙江求是半导体设备有限公司、浙江晶盛机电股份有限公司、浙江求是创芯半导体设备 …