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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CASME 929—2023 |
| 中文标题 | 半导体设备精密结构组件 |
| 英文标题 | Technical requirements for precision structural components of semiconductor equipment |
| 国际标准分类号 | 31.240 |
| 中国标准分类号 | K 05 |
| 国民经济分类 | C397 电子器件制造 |
| 发布日期 | 2023年11月17日 |
| 实施日期 | 2023年11月25日 |
| 起草人 | 张新联、林毅、李萍、杨会清、贾永涛、马长江、李明伟、邹灵浩、蔡福海、刘江、丁国林、麻青春 |
| 起草单位 | 常州伟泰科技股份有限公司、大连理工江苏研究院有限公司、大连理工大学、常州大连理工大学智能装备研究院、常州机电职业技术学院、内蒙古自治区特种设备检验研究院赤峰分院 |
| 范围 | 本文件适用于半导体设备精密结构组件的生产、检验。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体设备精密结构组件的基本要求、原材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国中小商业企业协会 |
| 登记证号 | 50001136-3/社证字第3320号 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 信息交流 业务培训 书刊编辑 国际合作 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 杨斐 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市西城区航空胡同32号 | 邮编 : 100035 |
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