T/CHBAS 32—2023 集成电路用混合气体 3%氘/氮-团体标准
目录
标准详细信息 | |
---|---|
标准状态 | 现行 |
标准编号 | T/CHBAS 32—2023 |
中文标题 | 集成电路用混合气体 3%氘/氮 |
英文标题 | |
国际标准分类号 | 99 (没有标题) |
中国标准分类号 | |
国民经济分类 | C419 其他未列明制造业 |
发布日期 | 2023年07月27日 |
实施日期 | 2023年07月27日 |
起草人 | 殷越玲、贾宣东、李帅楠、李旭、陈琛、崔雯、张洁、赵赛迪 |
起草单位 | 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中国质量协会 |
范围 | |
主要技术内容 | 本文件规定了集成电路用混合气体3%氘/氮混合气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全的要求。 本文件适用于集成电路用混合气体3%氘/氮(以下简称3%氘/氮),其它组分比例的氘氮混合气可参考照执行 |
是否包含专利信息 | 否 |
标准文本 | 不公开 |
团体详细信息 | |||
---|---|---|---|
团体名称 | 河北省标准化协会 | ||
登记证号 | 51130000506400941D | 发证机关 | 河北省民政厅 |
业务范围 | 咨询、培训、宣传、普及 | ||
法定代表人/负责人 | 张建勇 | ||
依托单位名称 | |||
通讯地址 | 河北省石家庄市桥西区中华南大街418号 | 邮编 : 050091 |