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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CMES 32001—2023 |
| 中文标题 | 磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 73.080 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | B109 石棉及其他非金属矿采选 |
| 发布日期 | 2023年06月21日 |
| 实施日期 | 2023年07月21日 |
| 起草人 | 张仲恺，雷嘉明，李乐，刘兆钧，田边，方续东，韩香广，赵立波，董和磊，漆锐，谭庆，余维江，钟星立，冯科，张丛春，阮勇，崔占中，李小杰 |
| 起草单位 | 西安交通大学、中北大学、中冶赛迪工程技术股份有限公司、上海交通大学、清华大学、北京临近空间飞行器系统工程研究所、西安慧金科技有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件给出了磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范及相关规定。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国机械工程学会 |
| 登记证号 | 4374 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 学术交流 国际合作 书刊编辑 专业展览 业务培训 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 陆大明 |
| 依托单位名称 | 无 |
| 通讯地址 | 北京市海淀区首体南路9号4楼11层 | 邮编 : 100048 |
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