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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CNIA 0118—2021 |
| 中文标题 | 电子工业用高纯氢氟酸中痕量杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 71.040.40 化学分析 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C356 电子和电工机械专用设备制造 |
| 发布日期 | 2021年03月19日 |
| 实施日期 | 2021年09月01日 |
| 起草人 | 秦榕、申梅桂、李升业、岳玉芳、蒲存芬、刘凤华、张啸虎、马婷、曹岩德、鲁文锋 |
| 起草单位 | 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、青海芯测科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了电感耦合等离子体质谱法测定电子工业用高纯氢氟酸中杂质元素（铝、锑、砷、钡、硼、镉、钙、铬、铜、铁、铅、锂、镁、锰、镍、钾、钠、锡、钛、钒、锌）含量的方法。
本文件适用于电子工业用高纯氢氟酸中痕量杂质元素含量的测定，测定范围为0.001μg/kg～10.000μg/kg。标准工作曲线法适用于各痕量杂质元素含量＞0.100μg/kg；标准加入法适用于各痕量杂质元素含量≤0.100μg/kg。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国有色金属工业协会 |
| 登记证号 | 50001331-8 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业自律、信息交流、业务培训、科技开发、国际合作与交流、咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 陈全训 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区复兴路乙12号 | 邮编 : 100814 |
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