T/CNIA 0141—2022 多晶硅生产用氢气中金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/CNIA 0141—2022
中文标题  多晶硅生产用氢气中金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文标题  
国际标准分类号  77.040.01 金属材料试验综合
中国标准分类号  
国民经济分类  C321 常用有色金属冶炼
发布日期  2022年02月28日
实施日期  2022年08月01日
起草人  袁中华、张习松、黄仕建、慕道焱、侯海波、李寿琴、楚东旭、刘翠、魏东亮、邱艳梅、王彬、岳峥、赵培芝
起草单位  内蒙古通威高纯晶硅有限公司、四川永祥股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、新特能源股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、青海芯测科技有限公司、江苏鑫华半导体材料科技有限公司
范围  
主要技术内容  本文件规定了用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定多晶硅生产用氢气中钠、镁、铝、钙、铬、锰、铁、镍、铜、锌、砷、钛元素含量的方法。
是否包含专利信息  
标准文本  不公开
团体详细信息
团体名称中国有色金属工业协会
登记证号50001331-8发证机关中华人民共和国民政部
业务范围行业自律、信息交流、业务培训、科技开发、国际合作与交流、咨询服务
法定代表人/负责人陈全训
依托单位名称
通讯地址北京市海淀区复兴路乙12号邮编 : 100814

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