T/CSTA 0052—2023 半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/CSTA 0052—2023
中文标题  半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒
英文标题  
国际标准分类号  77.140.60 钢棒和条钢
中国标准分类号  
国民经济分类  C312 炼钢
发布日期  2023年11月30日
实施日期  2023年11月30日
起草人  徐涛、高虹、范铁军、林立洲、翟丽丽、肖邦国、江庆东、霍咚梅、张丰麟、 吴振忠
起草单位  安徽富凯特材有限公司、江苏武进不锈股份有限公司、浦夕特种合金(上海)有限 公司、冶金工业规划研究院
范围  
主要技术内容  本文件规定了半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒(圆钢、方钢、扁钢、六角钢的总称,以下简称钢棒)的分类、订货内容、尺寸、外形、重量、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志和质量证明书。
本文件适用于半导体制造设备阀门和钢管用尺寸(直径、边长、厚度或对边距离,以下简称尺寸)不大于150mm的超高纯度不锈钢热轧钢棒、冷拉坯料和冷拉钢棒。
是否包含专利信息  
标准文本  不公开
团体详细信息
团体名称中关村不锈及特种合金新材料产业技术创新联盟
登记证号51110000MJ01229639发证机关北京市民政局
业务范围开展不锈及特种合金新材料产业领域的学术研究、学术交流、咨询服务、宣传服务、专业培训、对外交流、技术推广、承办委托
法定代表人/负责人降向冬
依托单位名称
通讯地址北京市东城区北三环东路36号环球贸易中心E座12层 冶金工业规划研究院邮编 : 100013

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