T/CSTA 0052—2023 半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒-团体标准
目录
标准详细信息 | |
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标准状态 | 现行 |
标准编号 | T/CSTA 0052—2023 |
中文标题 | 半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒 |
英文标题 | |
国际标准分类号 | 77.140.60 钢棒和条钢 |
中国标准分类号 | |
国民经济分类 | C312 炼钢 |
发布日期 | 2023年11月30日 |
实施日期 | 2023年11月30日 |
起草人 | 徐涛、高虹、范铁军、林立洲、翟丽丽、肖邦国、江庆东、霍咚梅、张丰麟、 吴振忠 |
起草单位 | 安徽富凯特材有限公司、江苏武进不锈股份有限公司、浦夕特种合金(上海)有限 公司、冶金工业规划研究院 |
范围 | |
主要技术内容 | 本文件规定了半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒(圆钢、方钢、扁钢、六角钢的总称,以下简称钢棒)的分类、订货内容、尺寸、外形、重量、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志和质量证明书。 本文件适用于半导体制造设备阀门和钢管用尺寸(直径、边长、厚度或对边距离,以下简称尺寸)不大于150mm的超高纯度不锈钢热轧钢棒、冷拉坯料和冷拉钢棒。 |
是否包含专利信息 | 否 |
标准文本 | 不公开 |
团体详细信息 | |||
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团体名称 | 中关村不锈及特种合金新材料产业技术创新联盟 | ||
登记证号 | 51110000MJ01229639 | 发证机关 | 北京市民政局 |
业务范围 | 开展不锈及特种合金新材料产业领域的学术研究、学术交流、咨询服务、宣传服务、专业培训、对外交流、技术推广、承办委托 | ||
法定代表人/负责人 | 降向冬 | ||
依托单位名称 | |||
通讯地址 | 北京市东城区北三环东路36号环球贸易中心E座12层 冶金工业规划研究院 | 邮编 : 100013 |