收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。
| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CZSBDTHYXH 001—2023 |
| 中文标题 | 半导体晶圆缺陷自动光学检测设备 |
| 英文标题 | Wafer defects Automatic optical inspection equipment |
| 国际标准分类号 | 29.045 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C356 电子和电工机械专用设备制造 |
| 发布日期 | 2023年08月08日 |
| 实施日期 | 2023年08月09日 |
| 起草人 | 刘建明、刘庄、张彦鹏、周佼、王宏才、郭魂、张鸣杰 |
| 起草单位 | 江苏维普光电科技有限公司、常州市半导体行业协会、国家半导体照明产品质量检验检测中心（江苏）（常州检验检测标准认证研究院）、常州工学院 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 常州市半导体行业协会 |
| 登记证号 | 51320400MJ64009605 | 发证机关 | 常州市行政审批局 |
| 业务范围 | 宣传、咨询、交流、培训、推广（依法须经批注的项目，经相关部门批准后方可开展业务活动）。 |
| 法定代表人/负责人 | 杨森茂 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 华山路9号 | 邮编 : 213000 |
收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。