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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/QGCML 743—2023 |
| 中文标题 | 半导体设备零部件阳极氧化工艺规范 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 31.200 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 |
| 发布日期 | 2023年04月17日 |
| 实施日期 | 2023年04月30日 |
| 起草人 | 黎纠、袁林锋、郁忠杰、屈芙蓉、王若愚、胡冬冬、孙阳。 |
| 起草单位 | 帝京半导体科技（苏州）有限公司、中国科学院微电子研究所、中科九微科技有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、江苏鲁汶仪器有限公司、吉姆西半导体科技（无锡）有限公司。 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本标准规定了半导体设备零部件阳极氧化工艺规范的术语与定义、技术要求、阳极氧化工艺方法。
本标准适用于半导体设备零部件的阳极氧化工艺。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 全国城市工业品贸易中心联合会 |
| 登记证号 | 51100000500004382K | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业管理、信息交流、书刊编辑、专业展览、国际合作、业务培训、咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 陈煜 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京海淀区万寿路甲12号万寿宾馆C座6519 | 邮编 : 100036 |
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