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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/SCS 000021—2023 |
| 中文标题 | i-线光刻级氟化钙晶体元件 |
| 英文标题 | i-line lithography grade calcium fluoride crystal components |
| 国际标准分类号 | 31-030 |
| 中国标准分类号 | L90 |
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 |
| 发布日期 | 2023年03月17日 |
| 实施日期 | 2023年04月17日 |
| 起草人 | 苏良碧，刘荣荣，姜大朋，张博，王静雅，寇华敏，贾健，侯宝路，刘国淦，唐飞，钱小波，吴庆辉，张中晗。 |
| 起草单位 | 中国科学院上海硅酸盐研究所，上海德硅凯氟光电科技有限公司，上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海现代先进超精密制造中心有限公司，上海市硅酸盐学会。 |
| 范围 | 本文件规定了i-线光刻级氟化钙晶体元件（以下简称元件）的术语和定义、技术要求、检验方法、检验规则、包装、运输及贮存。
本文件适用于i-线光刻级氟化钙晶体元件以及相应产品也可参考使用。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了i-线光刻级氟化钙晶体元件（以下简称元件）的术语和定义、技术要求、检验方法、检验规则、包装、运输及贮存。
本文件适用于i-线光刻级氟化钙晶体元件以及相应产品也可参考使用。
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| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 上海市硅酸盐学会 |
| 登记证号 | 5131000050177053XG | 发证机关 | 上海市民政局 |
| 业务范围 | 开展学术交流，人才培养，出版刊物，举办展览会、科技咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 顾中华 |
| 依托单位名称 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 通讯地址 | 上海市长宁区定西路1295号1号楼 | 邮编 : 200050 |
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