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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/WHAS 062—2023 |
| 中文标题 | 用于集成电路的光学临近效应校正软件设计导则 |
| 英文标题 | Design Guidelines for Optical Proximity Correction Software for Integrated Circuits |
| 国际标准分类号 | 35.080 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | I6520 集成电路设计 |
| 发布日期 | 2023年12月26日 |
| 实施日期 | 2024年01月10日 |
| 起草人 | 秦明、刘泽晟、宋毅、许益多、肖恩桥、彭飞、赵焱、熊逍、张国良、陈美通 |
| 起草单位 | 武汉大学、武汉精测电子集团股份有限公司、武汉精一微仪器有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了用于集成电路的光学临近效应校正软件的设计原则、功能模块和设计要求。
本文件适用于集成电路的光学临近效应校正软件的功能架构开发，采用干式及浸没式光刻技术的相关领域可参照使用。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 武汉标准化协会 |
| 登记证号 | 51420100522720187E | 发证机关 | 武汉市民政局 |
| 业务范围 | 按核准章程规定的范围 |
| 法定代表人/负责人 | 梁虹 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 武汉市江汉区青年路269号G栋2座102 | 邮编 : 430000 |
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