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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ZGM 014—2023 |
| 中文标题 | 半导体行业超纯水制备用脱气膜组件产品认证技术要求 |
| 英文标题 | Technical specifications of degasification membrane products certification for ultrapure water in the semiconductor industry |
| 国际标准分类号 | 07.060 |
| 中国标准分类号 | J77 |
| 国民经济分类 | C359 环保、社会公共服务及其他专用设备制造 |
| 发布日期 | 2023年10月11日 |
| 实施日期 | 2023年10月18日 |
| 起草人 | 贾建东、周伟、程亮、殷梓卿、沈涓、程杨明、陈星、张宏杰、张优慰、彭美华、魏永明。 |
| 起草单位 | 杭州科百特过滤器材有限公司、江苏中电创新环境科技有限公司、华东理工大学、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、江苏泷膜环境科技有限公司、江苏爱科膜高科技有限公司、黄河水利职业技术学院。 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本标准规定了半导体行业超纯水制备用脱气膜元件认证的技术要求、试验方法。本标准适用于半导体行业超纯水制备用脱气膜元件。规范了脱气膜产品的尺寸、性能、材质、洁净度要求及试验方法。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国膜工业协会 |
| 登记证号 | 50001821-5 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业管理 信息交流 技术培训 专业展览 国际交流 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 陆晓宝 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市朝阳区北三环东路19号 | 邮编 : 100029 |
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