T/ZZB 2833—2022 高压MOSFET用200 mm硅外延片-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/ZZB 2833—2022
中文标题  高压MOSFET用200 mm硅外延片
英文标题  200 mm silicon epitaxial wafers for high voltage MOSFET
国际标准分类号  29.045
中国标准分类号  H82
国民经济分类  C398 电子元件及电子专用材料制造
发布日期  2022年12月08日
实施日期  2022年12月31日
起草人  本文件主要起草人: 许峰、李慎重、李刚、刘红方、 朱华英、 李方虎、 李艳玲。
起草单位  本文件由宁波市标准化研究院牵头组织制定。本文件主要起草单位: 浙江金瑞泓科技股份有限公司。本文件参与起草单位: 金瑞泓科技(衢州)有限公司。
范围  
主要技术内容  本文件规定了高压MOSFET用200 mm硅外延片(以下简称硅外延片)的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、 质量证明书、 运输和贮存及质量承诺。
本文件适用于直径为200 mm、外延层厚度为40 μm~80 μm、在n型重掺砷硅抛光片上生长n型掺磷外延层、晶向<100>的硅外延片。产品主要用于制作高压金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET) 器件(简称高压MOSFET) 。
是否包含专利信息  
标准文本  查看
团体详细信息
团体名称浙江省品牌建设联合会
登记证号51330000MJ8700297R发证机关浙江省民政厅
业务范围开展相关研究,参与标准制定、发布,认证与监督,品牌培育,人才培训、品牌保护和宣传。
法定代表人/负责人陈自力
依托单位名称
通讯地址浙江省杭州市天目山路222号2号楼1321室邮编 : 310007

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