收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/CEPEA 0102—2023 中文标题 化合物半导体器件刻蚀工艺静电卡盘 英文标题 Electrostatic chuck for etching process of compound semiconductor devices 国际标准分类号 31.220.01 机电元件综合 中国标准分类号 国民经济分类 C356 电子和电工机械专用设备制造 发布日期 2024年03月01日 实施日期 2024年03月15日 起草人 孙文彬、高阔、刘斌、施广彦 起草单位 无锡邑文微电 …