收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/CIE 146—2022 中文标题 微机电（MEMS）器件晶圆键合试验评价方法 英文标题 国际标准分类号 31.200 中国标准分类号 国民经济分类 I6520 集成电路设计 发布日期 2022年12月31日 实施日期 2023年01月31日 起草人 董显山、来萍、韦覃如、周斌、黄钦文、何小琦、杨少华、苏伟、李仕远、杜贵祯、赵前程、鞠丽娜 起草单位 工业和信息化部电子第五研究所、北京大学、中国兵器工业第二一四研究所 范围 主要技术内容 本文件确立了对MEMS器件晶圆键合开展 …