收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/ICMTIA CMP0037—2023 中文标题 集成电路用聚氨酯类化学机械抛光垫 英文标题 国际标准分类号 31-030 中国标准分类号 国民经济分类 C398 电子元件及电子专用材料制造 发布日期 2023年03月01日 实施日期 2023年04月01日 起草人 王大方，梅黎黎、黄云鹏、潘唯，相红旗、李依琪、施建国 起草单位 中关村集成电路材料产业技术创新联盟、湖北鼎汇微电子材料有限公司、宁波赢 伟泰科新材料有限公司 范围 主要技术内容 本文件规定了集成电路用聚氨酯类化 …