收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/ICMTIA ESG0034—2023 中文标题 集成电路用混合气体 20%氟/氮 英文标题 国际标准分类号 71.100.20 工业气体 中国标准分类号 国民经济分类 C398 电子元件及电子专用材料制造 发布日期 2023年03月01日 实施日期 2023年04月01日 起草人 林百志、曹素英、李婷，李福芬、高天东、依俊廷。 起草单位 福建德尔科技股份有限公司、大连大特气体有限公司 范围 主要技术内容 本文件规定了集成电路材料供应商质量评价的评价体系、评价指标和评价方 …