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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CAQI 368—2023 |
| 中文标题 | 金刚石制备 微波等离子体化学气相沉积设备 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 71.040.10 化学实验室、实验室设备 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C359 环保、社会公共服务及其他专用设备制造 |
| 发布日期 | 2023年12月25日 |
| 实施日期 | 2024年01月25日 |
| 起草人 | 胡常青、赵建海、蒋裕胜、满卫东、高春燕、任泽阳、祝巍、付萍、赵洪阳、王希玮、王笃福。 |
| 起草单位 | 铂世光（上海）技术有限公司、上海征世科技股份有限公司、西安电子科技大学芜湖研究院、中国科学技术大学物理学院、武汉工程大学材料科学与工程学院、武汉工程大学等离子体化学与新材料湖北省重点实验室、山东大学新一代半导体材料研究院、济南金刚石科技有限公司。 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了制备金刚石的微波等离子体化学气相沉积设备（以下简称MPCVD设备）的设备原理及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于制备金刚石的微波模式为单模、多模的MPCVD设备。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国质量检验协会 |
| 登记证号 | 51100000500013027C | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 技术交流 专业培训 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 于丽君 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市朝阳区育慧南路3号 | 邮编 : 100029 |
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