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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CEPEA 0102—2023 |
| 中文标题 | 化合物半导体器件刻蚀工艺静电卡盘 |
| 英文标题 | Electrostatic chuck for etching process of compound semiconductor devices |
| 国际标准分类号 | 31.220.01 机电元件综合 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C356 电子和电工机械专用设备制造 |
| 发布日期 | 2024年03月01日 |
| 实施日期 | 2024年03月15日 |
| 起草人 | 孙文彬、高阔、刘斌、施广彦 |
| 起草单位 | 无锡邑文微电子科技股份有限公司、广东海拓创新技术有限公司、浏阳泰科天润半导体科技有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 静电卡盘是在具较高相对介电常数的电介质材料内部设置具有特定功能结构的电极组图案，通过混凝、烧结、键合等一体化工艺制造而成。
本文件界定了化合物半导体器件刻蚀工艺静电卡盘的术语和定义，规定了其结构和分类、工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
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| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国电子专用设备工业协会 |
| 登记证号 | 51100000500005588Q | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业自律 信息交流 业务培训 国际合作 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 赵晋荣 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区复兴路49号 | 邮编 : 100036 |
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