T/CHBAS 46—2023 电子工业用气体 六氟乙烷混合气-团体标准
目录
| 标准详细信息 | |
|---|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CHBAS 46—2023 |
| 中文标题 | 电子工业用气体 六氟乙烷混合气 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 71.100.20 工业气体 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C419 其他未列明制造业 |
| 发布日期 | 2023年12月22日 |
| 实施日期 | 2023年12月30日 |
| 起草人 | 刘波涛、张长金、郑阳光、吴冉冉、马茜茜、陈良、薛贺来、唐中伟 |
| 起草单位 | 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中船（邯郸）派瑞氢能科技有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了电子工业用气体六氟乙烷混合气（以下简称六氟乙烷混合气）的技术要求、试验 方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于电子工业用六氟乙烷混合气，主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。 六氟乙烷混合气中平衡气多为氧气，也可以是其他不与六氟乙烷发生化学反应，且不影响反应工艺 的气体。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 河北省标准化协会 | ||
| 登记证号 | 51130000506400941D | 发证机关 | 河北省民政厅 |
| 业务范围 | 咨询、培训、宣传、普及 | ||
| 法定代表人/负责人 | 张建勇 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 河北省石家庄市桥西区中华南大街418号 | 邮编 : 050091 | |