T/CHBAS 50—2023 电子工业用气体 二氟甲烷-团体标准
目录
| 标准详细信息 | |
|---|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CHBAS 50—2023 |
| 中文标题 | 电子工业用气体 二氟甲烷 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 71.100.20 工业气体 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C419 其他未列明制造业 |
| 发布日期 | 2023年12月22日 |
| 实施日期 | 2023年12月30日 |
| 起草人 | 崔雯、倪珊珊、陈润泽、闫云、李欣、陈良、薛贺来、唐中伟 |
| 起草单位 | 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中船（邯郸）派瑞氢能科技有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了电子工业用气体二氟甲烷（以下简称二氟甲烷）的技术要求、试验方法、检验规 则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于以工业二氟甲烷为原料经纯化制备的电子工业用二氟甲烷，它在电子工业等离子 蚀刻工艺中作为蚀刻气体。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 河北省标准化协会 | ||
| 登记证号 | 51130000506400941D | 发证机关 | 河北省民政厅 |
| 业务范围 | 咨询、培训、宣传、普及 | ||
| 法定代表人/负责人 | 张建勇 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 河北省石家庄市桥西区中华南大街418号 | 邮编 : 050091 | |