T_CHBAS 54—2024 电子工业用气体 三氟化氮混合气-团体标准
目录
标准详细信息 | |
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标准状态 | 现行 |
标准编号 | T/CHBAS 54—2024 |
中文标题 | 电子工业用气体 三氟化氮混合气 |
英文标题 | |
国际标准分类号 | 71.100.20 工业气体 |
中国标准分类号 | |
国民经济分类 | C419 其他未列明制造业 |
发布日期 | 2024年04月19日 |
实施日期 | 2024年04月19日 |
起草人 | 殷越玲、崔雯、李旭、 王星帅、 柳彤、张净普、陈良、薛贺来 |
起草单位 | 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中船(邯郸)派瑞氢能科技有限公司 |
范围 | |
主要技术内容 | 本文件规定了电子工业用气体三氟化氮混合气(以下简称三氟化氮混合气) 的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、 储存和安全的要求。 本文件适用于半导体电子工业领域。 本文件中的三氟化氮混合气的平衡气多为氦气、氩气、氮气,也可以是其他不与三氟化氮混合气发生化学反应,且不影响反应工艺的平衡气。 |
是否包含专利信息 | 否 |
标准文本 | 不公开 |
团体详细信息 | |||
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团体名称 | 河北省标准化协会 | ||
登记证号 | 51130000506400941D | 发证机关 | 河北省民政厅 |
业务范围 | 咨询、培训、宣传、普及 | ||
法定代表人/负责人 | 张建勇 | ||
依托单位名称 | |||
通讯地址 | 河北省石家庄市桥西区中华南大街418号 | 邮编 : 050091 |