T_CHBAS 54—2024 电子工业用气体 三氟化氮混合气-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/CHBAS 54—2024
中文标题  电子工业用气体 三氟化氮混合气
英文标题  
国际标准分类号  71.100.20 工业气体
中国标准分类号  
国民经济分类  C419 其他未列明制造业
发布日期  2024年04月19日
实施日期  2024年04月19日
起草人  殷越玲、崔雯、李旭、 王星帅、 柳彤、张净普、陈良、薛贺来
起草单位  中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中船(邯郸)派瑞氢能科技有限公司
范围  
主要技术内容  本文件规定了电子工业用气体三氟化氮混合气(以下简称三氟化氮混合气) 的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、 储存和安全的要求。
本文件适用于半导体电子工业领域。 本文件中的三氟化氮混合气的平衡气多为氦气、氩气、氮气,也可以是其他不与三氟化氮混合气发生化学反应,且不影响反应工艺的平衡气。
是否包含专利信息  
标准文本  不公开
团体详细信息
团体名称河北省标准化协会
登记证号51130000506400941D发证机关河北省民政厅
业务范围咨询、培训、宣传、普及
法定代表人/负责人张建勇
依托单位名称
通讯地址河北省石家庄市桥西区中华南大街418号邮编 : 050091

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