T/CI 334—2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求-团体标准
目录
| 标准详细信息 | |
|---|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CI 334—2024 |
| 中文标题 | 半导体设备隔振系统设计及技术要求 |
| 英文标题 | Design and technical requirements for isolation systems in semiconductor equipments |
| 国际标准分类号 | 39.020 |
| 中国标准分类号 | L56 |
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 |
| 发布日期 | 2024年04月18日 |
| 实施日期 | 2024年04月18日 |
| 起草人 | 陆泽琦、陈立群、张建华、贾建军、谢永、刘兴天、李浩源、闫腾飞、凌晓、辛涵申、姜琳、陶大燎、薛杰、陈震宇、欧阳郁汀。 |
| 起草单位 | 上海大学力学与工程科学学院、上海大学微电子学院、中国科学院上海技术物理研究所、上海卫星工程研究所、浙江零振智能装备有限公司、上海隐冠半导体技术有限公司、上海路博减振科技股份有限公司。 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。 本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。 本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中国国际科技促进会 | ||
| 登记证号 | 51100000500017650Q | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 技术开发 信息交流 专业展览 业务培训 咨询服务 | ||
| 法定代表人/负责人 | 许军 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 北京市海淀区中关村东路89号恒兴大厦13F | 邮编 : 100190 | |