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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CIE 117—2021 |
| 中文标题 | MEMS器件机械冲击试验方法 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 31.200 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | I6520 集成电路设计 |
| 发布日期 | 2021年11月22日 |
| 实施日期 | 2022年02月01日 |
| 起草人 | 黄钦文、来萍、董显山、苏伟、朱军华、恩云飞、王磊、焦斌斌 |
| 起草单位 | 工业和信息化部电子第五研究所、东南大学、中国科学院微电子研究所 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本标准规定了MEMS器件在加电、不加电状态下的机械冲击试验方法的技术要求、试验程序和检验评价规则等。
本标准适用于MEMS器件的研制、生产和产品鉴定验收等阶段，目的在于评估MEMS器件在装卸、运输和使用环境中，由于瞬时受力或者运动状态突然发生变化而产生瞬间机械冲击时的抗冲击能力。适用的机械冲击脉冲宽度范围0.05ms～30 ms，峰值范围5g～30,000g。
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| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国电子学会 |
| 登记证号 | 社证字第4079号 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 学术交流 教育普及 书刊编辑 评审鉴定 专业展览 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 陈英 |
| 依托单位名称 | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 通讯地址 | 北京市玉渊潭南路普惠南里13号 | 邮编 : 100036 |
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