收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。
| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CPIA 0065—2024 |
| 中文标题 | 异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 27.160 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C382 输配电及控制设备制造 |
| 发布日期 | 2024年03月10日 |
| 实施日期 | 2024年03月15日 |
| 起草人 | 王赶强、王慧慧、庄天奇、马哲国、卢俊雄、吴易龙、江伟、朱海剑、张洪旺、周光大、朱晨、刘松民、周春华、谈剑豪 |
| 起草单位 | 中国电子技术标准化研究院、理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、常州捷佳创精密机械有限公司、无锡帝科电子材料股份有限公司、杭州福斯特应用材料股份有限公司、江苏乾景睿科新能源有限公司、浙江润海新能源有限公司、江苏爱康能源研究院有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。
本文件适用于本征薄膜异质结电池用PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料，例如非晶硅、微晶硅、二氧化硅、氮化硅薄膜等本征薄膜材料等。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国光伏行业协会 |
| 登记证号 | 51100000717839663R | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 信息交流 专业培训 举办展览 国际合作 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 刘译阳 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区万寿路27号院电子大厦10层 | 邮编 : 100846 |
收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。