T/CPIA 0065—2024 异质结电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/CPIA 0065—2024
中文标题  异质结电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备
英文标题  
国际标准分类号  27.160
中国标准分类号  
国民经济分类  C382 输配电及控制设备制造
发布日期  2024年03月10日
实施日期  2024年03月15日
起草人  王赶强、王慧慧、庄天奇、马哲国、卢俊雄、吴易龙、江伟、朱海剑、张洪旺、周光大、朱晨、刘松民、周春华、谈剑豪
起草单位  中国电子技术标准化研究院、理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、常州捷佳创精密机械有限公司、无锡帝科电子材料股份有限公司、杭州福斯特应用材料股份有限公司、江苏乾景睿科新能源有限公司、浙江润海新能源有限公司、江苏爱康能源研究院有限公司
范围  
主要技术内容  本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。
本文件适用于本征薄膜异质结电池用PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料,例如非晶硅、微晶硅、二氧化硅、氮化硅薄膜等本征薄膜材料等。
是否包含专利信息  
标准文本  查看
团体详细信息
团体名称中国光伏行业协会
登记证号51100000717839663R发证机关中华人民共和国民政部
业务范围信息交流 专业培训 举办展览 国际合作 咨询服务
法定代表人/负责人刘译阳
依托单位名称
通讯地址北京市海淀区万寿路27号院电子大厦10层邮编 : 100846

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