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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CSTM 01199—2024 |
| 中文标题 | 多层金属薄膜 层结构测量分析方法 X射线光电子能谱 |
| 英文标题 | Multilayer metal film-Measurement and analysis method of layer structure-X-ray photoelectron spectroscopy |
| 国际标准分类号 | 29.045 |
| 中国标准分类号 | H80 |
| 国民经济分类 | M745 质检技术服务 |
| 发布日期 | 2024年01月05日 |
| 实施日期 | 2024年04月05日 |
| 起草人 | 范燕、卓尚军、严楷、王双、李林清、王海、杨秋，江柯敏、刘海全、谭晓逸、谭军、白敬胜。 |
| 起草单位 | 季华实验室、中国科学院上海硅酸盐研究所、广东工业大学、中国计量科学研究院、宁波新材料测试评价中心有限公司、中材新材料研究院（广州）有限公司。 |
| 范围 | 本文件规定了X射线光电子能谱仪（XPS）深度剖析测量多层金属薄膜层结构的分析方法。
本文件适用于70 nm~240 nm深度内纳米尺度多层金属薄膜层成分、化学态、膜厚的表征。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了X射线光电子能谱仪（XPS）深度剖析测量多层金属薄膜层结构的分析方法。
本文件适用于70 nm~240 nm深度内纳米尺度多层金属薄膜层成分、化学态、膜厚的表征。
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| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中关村材料试验技术联盟 |
| 登记证号 | 51110000MJ01194498 | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展新材料、新工艺的试验技术与标准研究、国内外技术交流、咨询服务技术培训、会展服务、出版刊物、承办委托 |
| 法定代表人/负责人 | 范弘 |
| 依托单位名称 | 中国钢研科技集团有限公司 |
| 通讯地址 | 北京市海淀区高梁桥斜街13号中国钢研集团新材料大楼1037 | 邮编 : 100081 |
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