T/CZZMXH 010—2024 193 nm紫外灯及光源系统辐射特性测量方法-团体标准
目录
| 标准详细信息 | |
|---|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CZZMXH 010—2024 |
| 中文标题 | 193 nm紫外灯及光源系统辐射特性测量方法 |
| 英文标题 | Radiant characteristics measurement of 193 nm ultraviolet lamps and light source system |
| 国际标准分类号 | 29.140.30 荧光灯、放电灯 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C387 照明器具制造 |
| 发布日期 | 2024年01月16日 |
| 实施日期 | 2024年01月16日 |
| 起草人 | 殷尧平、韩秋漪、万小玲、陆旭峰、徐琴玉、张善端、庄燕忠、李丁强、徐虹、刘朝霞、孙鹤源、孙瑜、张亮、杨静华 |
| 起草单位 | 常州玉宇电光器件有限公司、复旦大学电光源研究所、国家半导体照明产品质量检验检测中心（江苏）（常州检验检测标准认证研究院）、常州市照明电器协会 |
| 范围 | 本文件规定了193 nm紫外灯及光源系统辐射特性的测量参数、测试要求等项目。 本文件适用于光刻机用193 nm紫外灯及光源系统的辐射特性测量。其他应用类型的紫外灯的辐射特性测量可参考使用。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了193 nm紫外灯及光源系统辐射特性的测量参数、测试要求等项目。 本文件适用于光刻机用193 nm紫外灯及光源系统的辐射特性测量。其他应用类型的紫外灯的辐射特性测量可参考使用。 4 测量参数 5 测试原理 6 仪器设备 7 测试要求 8 测试步骤 9 数据处理 |
| 是否包含专利信息 | 是 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 常州市照明电器协会 | ||
| 登记证号 | 5132040078438382X6 | 发证机关 | 常州市民政局 |
| 业务范围 | 行业调查研究、制定行业规范、培训、咨询、协调等 | ||
| 法定代表人/负责人 | 陆旭峰 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 常州市钟楼区邹区镇邹区灯具城时代广场四楼 | 邮编 : 213000 | |