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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ICMTIA CM0038—2024 |
| 中文标题 | 半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 29.045 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 |
| 发布日期 | 2024年04月25日 |
| 实施日期 | 2024年06月01日 |
| 起草人 | ：陶飞、周勇、吴伟华、王杨柳、陈超、方志远、王洋洋、左伟仙、毛炳全、王俊仁、崔彬 |
| 起草单位 | ：浙江美晶新材料股份有限公司、宁夏鑫晶新材料科技有限公司、郑州合晶硅材料有限公司、山东有研半导体材料有限公司、中环领先半导体材料有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存技术内容。
本文件适用于半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 登记证号 | 51110000MJ0121530Y | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展集成电路材料领域的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、支持成果转化、承办委托、国际交流。 |
| 法定代表人/负责人 | 石瑛 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区知春路27号量子芯座大厦15层1712 | 邮编 : 100191 |
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