T/NXCL 28—2024 半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/NXCL 28—2024
中文标题  半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚
英文标题  Synthetic quartz crucible for semiconductor grade monocrystalline silicon growth
国际标准分类号  29.045
中国标准分类号  
国民经济分类  C411 日用杂品制造
发布日期  2024年02月02日
实施日期  2024年02月02日
起草人  李长苏、熊欢、何玉鹏、陈荣贵、王建军、史海贝、闫素婷、陈金莲、马万保、马荣天、王黎光、芮阳、李海波、盛旺、田宝春
起草单位  宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、宁夏大学、宁夏高创特能源科技有限公司、宁夏旭樱新能源科技有限公司
范围  
主要技术内容  本文件规定了半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。
本文件适用于合成石英砂(成分:二氧化硅)为内层原料,采用电弧熔融法工艺生产,应用于直拉法半导体级单晶硅生长的石英坩埚。
是否包含专利信息  
标准文本  查看
团体详细信息
团体名称宁夏材料研究学会
登记证号51640000MJX1568802发证机关宁夏回族自治区民政厅
业务范围宣传科技知识,促进学术交流,承担科技咨询、成果评价,出版学术资料,召开学术研讨会议、报告、讲座。
法定代表人/负责人陈宇红
依托单位名称
通讯地址宁夏银川市西夏区文昌北街204号邮编 : 750021

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