T/NXCL 29—2024 300 mm低氧含量直拉硅单晶抛光片-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/NXCL 29—2024
中文标题  300 mm低氧含量直拉硅单晶抛光片
英文标题  300 mm low oxygen content single crystaline Czochralski silicon polished wafers
国际标准分类号  29.045
中国标准分类号  
国民经济分类  C398 电子元件及电子专用材料制造
发布日期  2024年02月06日
实施日期  2024年02月06日
起草人  王黎光、商润龙、芮阳、杨少林、陈亚、蔡润、赵泽慧、赵延祥、曹启刚、王忠保、熊欢、魏兴彤、王云峰、李长苏、顾燕滨、盛之林、黄柳青、盛旺
起草单位  宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、北方民族大学、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、厦门大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司
范围  本文件规定了 300 mm 低氧含量直拉硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单(或合同)内容和质量承诺等方面的内容。 本文件适用于直径 300 mm 低氧含量直拉硅单晶磨削片经单面或双面抛光制备的硅单晶抛光片,产品主要用于满足绝缘栅双极晶体管(IGBT)等功率器件技术需求的衬底片。
主要技术内容  本文件规定了 300 mm 低氧含量直拉硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单(或合同)内容和质量承诺等方面的内容。
本文件适用于直径 300 mm 低氧含量直拉硅单晶磨削片经单面或双面抛光制备的硅单晶抛光片,产品主要用于满足绝缘栅双极晶体管(IGBT)等功率器件技术需求的衬底片。
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团体详细信息
团体名称宁夏材料研究学会
登记证号51640000MJX1568802发证机关宁夏回族自治区民政厅
业务范围宣传科技知识,促进学术交流,承担科技咨询、成果评价,出版学术资料,召开学术研讨会议、报告、讲座。
法定代表人/负责人陈宇红
依托单位名称
通讯地址宁夏银川市西夏区文昌北街204号邮编 : 750021

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