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标准详细信息 |
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标准状态 | 现行 |
标准编号 | T/QGCML 3233—2024 |
中文标题 | 泛半导体行业真空泵 技术要求 |
英文标题 | |
国际标准分类号 | 23.080 |
中国标准分类号 | |
国民经济分类 | C344 泵、阀门、压缩机及类似机械制造 |
发布日期 | 2024年03月05日 |
实施日期 | 2024年03月20日 |
起草人 | 雷晓宏、王普学、魏民、雷晓波、汪鹏、王进福、陈雷、丁印明、姜斌、刘朋飞、孟永见、王洪帅、王鑫、张建平、张兰涛、张新房、郑华、陈丰、冯伟、彭冲、苏海军、由凯生。 |
起草单位 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司、陕西通嘉宏盛科技有限公司、上海通嘉宏盛半导体设备有限公司。 |
范围 | |
主要技术内容 | 本文件规定了泛半导体行业真空泵的术语和定义、主要参数、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。 本文件适用于泛半导体行业真空泵的生产和检验。 |
是否包含专利信息 | 否 |
标准文本 | 不公开 |
团体详细信息 |
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团体名称 | 全国城市工业品贸易中心联合会 |
登记证号 | 51100000500004382K | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
业务范围 | 行业管理、信息交流、书刊编辑、专业展览、国际合作、业务培训、咨询服务 |
法定代表人/负责人 | 陈煜 |
依托单位名称 | |
通讯地址 | 北京海淀区万寿路甲12号万寿宾馆C座6519 | 邮编 : 100036 |
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